Termékek

Normális hőmérsékletű katalitikus gáztisztító rendszer

A tömeges gáztisztításra kifejezett megoldások minimális költséggel és kiváló minőséggel rendelkeznek. A kompakt szerkezet, az alacsony költségű működés és a magas megbízhatóság előnyei lehetővé teszik a különböző szennyeződéseket tartalmazó tömeges gázok hatékony tisztítását a rendkívül tiszta gáz követelményeinek megfelelését, valamint a minimális nyomáscsökkenést és a kiváló folyamatos munkaképességet. Az egész rendszer széles körben alkalmazható, és különböző méretű területeken és különböző területeken alkalmazható.

Termék teljesítmény

Alkalmas nem kevesebb, mint 99,99%-os tisztaságú nyersgázsal

◎ Ez a termék kettős szerkezet, egy munkacsoport, a másik csoport regenerált tartalék

A gáztisztítás után a víz, az oxigén és egyéb szennyeződések tartalma <10ppb

◎ elektrokémiai csiszolás 316 (L) rozsdamentes acél ◎ beépített hatékony szűrő

◎ A legjobb kezelési ciklus tervezése, nagy adszorbens töltési mennyiség, meghosszabbított élettartam

◎ Ez a termék teljes felépítési tervezés, kompakt elrendezés, kis terület

Termékek alkalmazása

Védő gáztisztítás: acél, petrolkémia, gépipar

A magas tisztaságú monokristályos szilícium, a chip kiterjesztése, a tömeges integrált áramkörök, a fotoelektromos termékek gyártása és egyéb elektronikai ipar számára szükséges gáztisztítás.

Félvezető folyamati berendezések: CVD, MOCVD, HVPE, diffúziós kemence stb.

* Nagy gáztisztítás

Rendszerparaméterek